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批間控制理論與設(shè)計方法

批間控制理論與設(shè)計方法

定  價:99 元

        

  • 作者:潘天紅,王海燕,譚斐著
  • 出版時間:2022/5/1
  • ISBN:9787030714763
  • 出 版 社:科學(xué)出版社
  • 中圖法分類:TP13 
  • 頁碼:143頁
  • 紙張:膠版紙
  • 版次:1
  • 開本:16開
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本書全面系統(tǒng)地介紹了離散制造過程的批間控制理論及其設(shè)計方法,側(cè)重于介紹混合制程批間控制研究的近期新進展。全書共7章,分為三大部分,一部分針對混合制程的控制問題,闡述了基于JADE、ANOVA、G&P-EWMA、貝葉斯估計及擴張狀態(tài)觀測器的批間控制理論與設(shè)計方法;二部分針對帶測量時延的制程控制問題,給出系統(tǒng)穩(wěn)定性分析、測量時延概率的估計算法及EWMA濾波器設(shè)計方法;三部分結(jié)合貝葉斯理論,研究批間控制性能評估方法,并給出批間控制器協(xié)同設(shè)計策略。本書適合從事離散制造業(yè)控制、半導(dǎo)體晶圓加工過程監(jiān)控、計算機控制、系統(tǒng)工程等研究方向的廣大科技人員閱讀,也可供高等院校相應(yīng)專業(yè)的師生參考。

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