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微納尺度系統(tǒng)工程
M.安·加里森·達(dá)林、珍妮特·L.巴斯編*的《 微納尺度系統(tǒng)工程》是國際上論述系統(tǒng)工程方法在微 納技術(shù)中需求、發(fā)展和應(yīng)用的**本專*,共分為4 部分。**部分闡述了系統(tǒng)工程的基本概念及微納技 術(shù)這一主線,包括微納技術(shù)概述、系統(tǒng)工程簡介、系 統(tǒng)工程過程和敏捷系統(tǒng)工程;第二部分講述了微納技 術(shù)的研發(fā)流程,包括尺度效應(yīng)概述、微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS)技術(shù)、納米技術(shù)概述、納機(jī)電系統(tǒng)(NEMS) 相關(guān)的自上而下和自下而上的納米組裝技術(shù);第三部 分論述了系統(tǒng)工程過程的要素,包括建模與仿真、微 納尺度接口、系統(tǒng)可靠性、測試與評估、項(xiàng)目的開發(fā) 與實(shí)現(xiàn)等;第四部分介紹了系統(tǒng)工程對未來微納技術(shù) 發(fā)展的應(yīng)用,包括納米技術(shù)、生物醫(yī)學(xué)微系統(tǒng)、自組 裝技術(shù)以及對微米納米技術(shù)的預(yù)測。本書內(nèi)容新穎、 數(shù)據(jù)充實(shí),適合微米納米技術(shù)領(lǐng)域相關(guān)的MEMS、納米 技術(shù)、微電子、光電子、傳感與測控等領(lǐng)域研究院所 的設(shè)計(jì)師、工程師、管理者等科技人員,與高等院校 相關(guān)學(xué)科的科研人員、研究生、高年級本科生以及其 他相關(guān)科技人員閱讀。
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