物質(zhì)在納米尺度下表現(xiàn)出的奇異現(xiàn)象和規(guī)律將改變相關(guān)理論的現(xiàn)有框架，使人們對物質(zhì)世的認(rèn)識進(jìn)入到嶄新的階段。用微納米加工方法對微納米材料、器件等進(jìn)行微結(jié)構(gòu)表征、操縱、控制、加工等，測量其力、熱、光、電、磁等低維物理特性，開展相關(guān)基礎(chǔ)理論、方法研究和設(shè)備改造、研制，對納米科技的發(fā)展具有重要的意義。本書主要包括掃描電子顯微學(xué)、透射電子顯微學(xué)、聚焦離子束和電子束納米加工技術(shù)、氦離子顯微學(xué)等的基礎(chǔ)理論，通過一些典型的應(yīng)用介紹如何運用這些方法實施對材料及其結(jié)構(gòu)的表征、加工等。