作為薄膜晶體管(TFT)技術的入門教材，本書以非晶硅薄膜晶體管（a-Si TFT)和多晶硅薄膜晶體管(p-Si TFT)為例詳細講解了與TFT技術相關的材料物理、器件物理和制備工藝原理及其在平板顯示中的應用原理等。
本書共分7章。第1章簡單介紹了薄膜晶體管的發(fā)展簡史；第2章詳細闡述了TFT在平板顯示有源矩陣驅動中的應用原理；第3章深入講解了薄膜晶體管相關的半導體、絕緣體和電極材料物理；第4章詳細闡述了非晶硅TFT和多晶硅TFT器件物理的相關基礎知識；第5章系統(tǒng)介紹了TFT制備的單項工藝原理；第6章仔細講解了非晶硅TFT陣列和多晶硅TFT陣列工藝整合原理；第7章簡單總結全書并展望了以a-IGZO TFT為代表的非晶氧化物薄膜晶體管技術的發(fā)展趨勢。每章后附有習題，可供課堂練習或課后作業(yè)使用。
本書適合于作為大學本科生和研究生相關課程的教材，也適合針對從事TFT技術相關工作的工程技術人員作為技術培訓和在職進修的教材或參考書籍。