本書是在第一版的基礎上修訂而成，結(jié)合微機電系統(tǒng)領(lǐng)域的研究成果編著而成的。全書共分為六章，分別介紹了MEMS發(fā)展歷程，MEMS理論基礎，MEMS基本工藝技術(shù)，MEMS設計技術(shù)，典型微器件與微系統(tǒng)和微測試技術(shù)。在介紹微加工工藝方面，《普通高等教育“十一五”規(guī)劃教材：微機電系統(tǒng)》結(jié)合大量工藝實例，易于學生理解，有助于提高其動手能力；對各種典型微機電器件的介紹，大部分來源于實驗室的課題研究實例，內(nèi)容充實新穎。 　　本書可以作為本科生和研究生學習微機電系統(tǒng)的教材使用，還可以作為工程技術(shù)等專業(yè)人員的參考手冊。