微納米制造技術(shù)廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微機(jī)電系統(tǒng)、傳感器、驅(qū)動(dòng)器、功能材料與涂層等，涉及電子、機(jī)械、光學(xué)、物理、化學(xué)、材料、生物等多種學(xué)科，是制造技術(shù)的融合交叉新領(lǐng)域�！段⒓{米制造技術(shù)及應(yīng)用》共分7章，內(nèi)容涵蓋了微機(jī)械加工、表面成膜、半導(dǎo)體加工、納米制造和生物制造等，全面地講述了微納米加工的各種方法，每種工藝都按照由原理、工藝過(guò)程到應(yīng)用特點(diǎn)的順序論述，邏輯嚴(yán)謹(jǐn)、脈絡(luò)清晰�！段⒓{米制造技術(shù)及應(yīng)用》文字通俗易懂、并配有大量的圖解，有利于讀者對(duì)各知識(shí)點(diǎn)的理解、掌握和運(yùn)用；參考文獻(xiàn)翔實(shí)，適于讀者拓展閱讀。

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