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微機電系統(tǒng)原理

微機電系統(tǒng)原理

定  價:180 元

叢書名:國防科技著作精品譯叢

        

  • 作者:(韓)李基邦 著,馬曉軍 等譯
  • 出版時間:2014/4/1
  • ISBN:9787118094329
  • 出 版 社:國防工業(yè)出版社
  • 中圖法分類:TH-39 
  • 頁碼:
  • 紙張:膠版紙
  • 版次:1
  • 開本:16開
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  微機電系統(tǒng)(MEMS)技術研究主要針對微小系統(tǒng),它在汽車、無線電話、數(shù)碼相機以及醫(yī)療設備等方面都有著廣泛的應用。李基邦編著的這本《微機電系統(tǒng)原理》通過作者研究以及參考其他有價值的文獻,針對MEMS提出了統(tǒng)一法和封閉形式解方法,便于讀者更好地理解MEMS中的線性和非線性問題,以及開展相關應用設計。
  全書共分九章,第一章為緒論部分,介紹了微機電系統(tǒng)的量綱分析法。第二章介紹了微制造技術。第三章為微機電系統(tǒng)在靜力平衡條件下的靜力學分析。第四章為微結構的靜力性能分析。第五章為微機電系統(tǒng)動力學分析。第六章為微機電系統(tǒng)流體力學分析。第七章介紹MEMS設計中涉及的基于電磁學的基本方程。第八章和第九章介紹如何通過MEMS組件的組合設計具有特定功能的驅(qū)動器或傳感器。
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