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硅集成電路工藝基礎(chǔ)（第二版） 
定 價(jià)：52 元 叢書名：21世紀(jì)微電子學(xué)專業(yè)規(guī)劃教材
9 7 2 8 4 7 1 3 0 0 9 1 7
本書是《硅集成電路工藝基礎(chǔ)》的第二版教材，作者在第一版的基礎(chǔ)上系統(tǒng)的講述了硅集成電路制造的基礎(chǔ)工藝，加深了工藝物理基礎(chǔ)和基本原理的介紹。增加了工藝集成例子的介紹。
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