項目一硅片加工工藝概述
任務一認識硅材料的基本性能
任務二硅片加工工藝流程
任務三切片工藝崗位技能要求
項目二單晶截斷工藝
任務一單晶硅棒截斷
任務二單晶樣片檢測
項目三單晶硅棒與多晶硅錠開方工藝
任務一認識開方機的原理與結(jié)構(gòu)
任務二單晶硅開方
任務三多晶硅開方
項目四單晶硅塊磨面與滾圓工藝
任務一單晶硅塊磨面
任務二單晶硅塊滾圓
項目五多晶硅塊截斷、磨面及倒角工藝

項目一硅片加工工藝概述
任務一認識硅材料的基本性能
任務二硅片加工工藝流程
任務三切片工藝崗位技能要求
項目二單晶截斷工藝
任務一單晶硅棒截斷
任務二單晶樣片檢測
項目三單晶硅棒與多晶硅錠開方工藝
任務一認識開方機的原理與結(jié)構(gòu)
任務二單晶硅開方
任務三多晶硅開方
項目四單晶硅塊磨面與滾圓工藝
任務一單晶硅塊磨面
任務二單晶硅塊滾圓
項目五多晶硅塊截斷、磨面及倒角工藝
任務一多晶硅塊截斷
任務二多晶硅塊磨面
任務三多晶硅塊倒角
項目六多線切片工藝
任務一晶硅多線切割工藝
任務二切割液的配置與使用
任務三硅塊粘膠
任務四多線切割
任務五廢線切割工藝
任務六多線切割機的維護保養(yǎng)
任務七切片過程中異常問題處理
任務八切片參數(shù)討論及改進
項目七硅片清洗工藝
任務一作業(yè)準備
任務二硅片預清洗
任務三硅片脫膠
任務四硅片插片
任務五硅片清洗
任務六硅片化學清洗機理分析
任務七清洗機的維護與保養(yǎng)
任務八硅片甩干
項目八硅片檢測及包裝
任務一熟悉硅片檢測分級標準
任務二硅片檢測
任務三硅片包裝
參考文獻