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高頻寬帶體聲波濾波器技術(shù) 讀者對(duì)象:射頻通信、芯片制造、半導(dǎo)體等行業(yè)從業(yè)特別是研發(fā)人員
本書共8章。其中,第1章介紹濾波器的發(fā)展史,著重分析射頻濾波器的種類及體聲波濾波器的研發(fā)進(jìn)展。第2、3章從體聲波濾波器的物理基礎(chǔ)出發(fā),基于聲波的傳輸理論與材料的壓電理論推導(dǎo)出器件仿真模型,并以兩款體聲波濾波器的設(shè)計(jì)案例介紹設(shè)計(jì)方法的應(yīng)用,展現(xiàn)關(guān)鍵影響因素在設(shè)計(jì)過(guò)程中的調(diào)整規(guī)律。第4-6章依次介紹了AIN薄膜制備與表征方法、體聲波濾波器的芯片關(guān)鍵制備工藝與封裝技術(shù),結(jié)合本書作者團(tuán)隊(duì)的研究成果,表明了單晶AlN體聲波濾波器SABAR?技術(shù)路線較多晶AlN路線的優(yōu)勢(shì)。第7章著重介紹體聲波濾波器在民用通信、國(guó)防、傳感及醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用。第8章分析與展望了體聲波濾波器的前沿技術(shù),涉及到SABAR?濾波器、溫度補(bǔ)償型體聲波濾波器、四工器、XBAR、YBAR等。
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