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圖說集成電路制造工藝 讀者對(duì)象:本書適用于集成電路行業(yè)人員、對(duì)集成電路及前沿科技感興趣的讀者
本書首先介紹了半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展史;接著將整個(gè)芯片制造流程分為“加”“減”“乘”“除”四類,用圖說的形式,講解了氧化、化學(xué)氣相淀積、物理法沉積薄膜、擴(kuò)散、離子注入、清洗硅片、刻蝕、化學(xué)機(jī)械拋光、離子注入退火、回流、制備合金、光刻等核心工藝,同時(shí)對(duì)半導(dǎo)體材料、凈化間、化學(xué)試劑、氣體、半導(dǎo)體設(shè)備、掩膜版等必需條件也做了介紹。
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