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光學非球面新型檢測原理與技術
本書結合光學測量技術的**發(fā)展,針對光學非球面,尤其是大口徑非球面和自由曲面的檢測技術進行了詳細的探討,主要涉及技術起源與發(fā)展、原理、具體的實驗裝置,以及相關的測量方法和精度。全書共分5章,第1章介紹了光學非球面的基本概念、描述及評價方法,并簡要介紹了光學非球面檢測的經(jīng)典方法; 第2章介紹了基于激光束偏轉與逆向哈特曼的光學非球面幾何檢測方法; 第3章詳細介紹了部分補償法和數(shù)字莫爾移相干涉法; 第4章重點介紹了基于干涉檢測法的非球面參數(shù)誤差測量; 第5章探討了非球面干涉檢測動態(tài)范圍擴展的相關技術。
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