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硅微機(jī)械陀螺誤差建模理論與方法 
定 價(jià)：150 元 叢書名：無
9 7 7 8 3 7 9 0 4 3 9 0 0 讀者對(duì)象:微機(jī)電系統(tǒng)工程(MEMS)，傳感芯片技術(shù)，微型角速率傳感器等專業(yè)技術(shù)領(lǐng)域基礎(chǔ)研究及工程應(yīng)用人員
本書共9章，以硅微機(jī)械陀螺為研究對(duì)象，通過數(shù)學(xué)物理方程推導(dǎo)微機(jī)電系統(tǒng)宏模型，采用對(duì)稱拓?fù)湓O(shè)計(jì)微機(jī)械陀螺結(jié)構(gòu)，制訂簡(jiǎn)單、高效的工藝加工微機(jī)械陀螺，根據(jù)精密控制、電學(xué)知識(shí)設(shè)計(jì)微機(jī)械陀螺測(cè)控電路，從而闡明硅微機(jī)械陀螺誤差產(chǎn)生機(jī)理，并為減小誤差提供研究思路。本書內(nèi)容新穎，簡(jiǎn)明扼要。
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