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TSV三維集成理論、技術(shù)與應(yīng)用 讀者對(duì)象:從事半導(dǎo)體芯片集成和先進(jìn)電子模塊、微系統(tǒng)的工程師、科研人員和技術(shù)管理人員,以及相關(guān)專業(yè)研究生和教師。
后摩爾時(shí)代將硅通孔(throughsiliconvia,TSV)技術(shù)等先進(jìn)集成封裝技術(shù)作為重要發(fā)展方向。本書系統(tǒng)介紹作者團(tuán)隊(duì)在TSV三維集成方面的研究工作,包括緒論、TSV工藝仿真、TSV工藝、TSV三維互連電學(xué)設(shè)計(jì)、三維集成微系統(tǒng)的熱管理方法、三維集成電學(xué)測(cè)試技術(shù)、TSV轉(zhuǎn)接板技術(shù)、TSV三維集成應(yīng)用、發(fā)展趨勢(shì)。為了兼顧全面性、系統(tǒng)性,本書綜述國(guó)內(nèi)外相關(guān)技術(shù)進(jìn)展。
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