本書針對研磨廢液中碳化硼未能進行有效回收，既浪費資源，又污染環(huán)境的現(xiàn)實問題，從研磨材料和工藝、廢液料物化特性、研磨廢液料固液分離方法與優(yōu)選、碳化硼回收設備結構設計、碳化硼回收技術工業(yè)應用等方面展開相關研究論述。提出了一種針對研磨廢液可用水溶性溶劑進行固液分離，且可按固體顆粒粒徑差異進行固固分離的碳化硼回收技術；設計了工業(yè)應用方案和碳化硼回收設備樣機；驗證了研磨廢液中碳化硼的回收率。全書內(nèi)容全面、邏輯層次清晰，對研磨廢液中碳化硼的回收再利用具有一定的指導和借鑒意義。
第一章 緒論
第一節(jié) 技術現(xiàn)狀
一、國內(nèi)現(xiàn)狀
二、國外現(xiàn)狀
第二節(jié) 研究意義
第三節(jié) 研究內(nèi)容
一、技術路線
二、內(nèi)容結構
第四節(jié) 本章小結
第二章 研磨工藝及廢液物性
第一節(jié) LED襯底研磨材料
一、藍寶石襯底
二、碳化硼磨料
第二節(jié) 襯底研磨工藝
一、襯底加工流程
二、襯底研磨機理
三、襯底研磨方法
第三節(jié) 研磨廢液料物性
一、F240-W研究
二、F240-WL研究
三、F240-WS研究
第四節(jié) 本章小結
第三章 基于AHP法碳化硼回收方法的優(yōu)選
第一節(jié) 研磨廢液中碳化硼分離方法分析
一、常規(guī)過濾法
二、離心分離法
三、重力沉降法
四、振動篩分法
第二節(jié) AHP法理論工具
一、AHP法簡介
二、AHP法決策步驟
第三節(jié) AHP法建模與計算
一、四種分離方法的AHP建模
二、四種分離方法優(yōu)選的計算
三、四種分離方法的優(yōu)選結論
第四節(jié) 本章小結
第四章 碳化硼循環(huán)再利用設備結構設計
第一節(jié) 設備結構的初步設計
一、整體設計
二、回收模塊
三、輔助模塊
四、初步方案討論
第二節(jié) 基于TRIZ理論的方案優(yōu)化
一、TRIZ理論工具
二、TRIZ“九屏幕法”優(yōu)化設計思路
三、“SAFC分析模型”確定最終方案
第三節(jié) 基于最終方案的設備結構設計
一、設備主體結構
二、攪拌清洗模塊
三、振動篩分模塊
四、設備外部結構
第四節(jié) 本章小結
第五章 碳化硼循環(huán)再利用設備樣機制作與應用
第一節(jié) 樣機硬件結構研制
一、樣機主要零部件
二、樣機部件的組裝
第二節(jié) 樣機軟件系統(tǒng)開發(fā)
一、PLC控制程序
二、觸摸屏顯示
三、電路控制系統(tǒng)
第三節(jié) 樣機應用與檢測
一、樣機調試應用
二、回收效果檢測
三、回收率的測定
第四節(jié) 研磨液自動配比系統(tǒng)
一、m-V配比算法
二、系統(tǒng)結構方案
三、方案應用舉例
第五節(jié) 本章小結
第六章 結論與展望
參考文獻
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