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基于大數(shù)據(jù)技術的高頻往復輕質(zhì)結構動力學特性分析及振動抑制研究 高頻旋轉(zhuǎn)輕量化結構在多維慣性沖擊下產(chǎn)生了非線性的運行振動,呈現(xiàn)柔性特性,這不僅阻礙了微電子制造業(yè)生產(chǎn)效率的提高,也限制了先進數(shù)控裝備優(yōu)越性的發(fā)揮。本書基于高頻旋轉(zhuǎn)輕量化結構,構建動力學特征機器學習模型,運用機器學習算法辨識多維慣性沖擊下結構的動力學參數(shù)。在大量低價值的響應信號中提取有用的振動特征,挖掘出直接影響終端定位精度的振動特征變化規(guī)律。從結構形式、工作時序等多維度研究抑制多階高頻振動的方法,終實現(xiàn)提高芯片定位精度的目標。
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