本書闡述了低溫等離子體診斷的基本原理與重要技術(shù)。從等離子體的基本概念與性質(zhì)、低溫等離子體的產(chǎn)生方法和等離子體中的基本化學(xué)過程，到低溫等離子體的探針診斷技術(shù)及其應(yīng)用、光譜診斷技術(shù)及其應(yīng)用、質(zhì)譜診斷技術(shù)及其應(yīng)用、離子能量診斷技術(shù)及其應(yīng)用、波干涉診斷技術(shù)、等離子體阻抗分析技術(shù)及其應(yīng)用，較全面地介紹了低溫等離子體診斷的基礎(chǔ)知識(shí)，總結(jié)了該領(lǐng)域近年來的一些新進(jìn)展，提供了低溫等離子體診斷應(yīng)用的實(shí)例。

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