緒論1
0.1改良西門子法生產(chǎn)多晶硅1
0.2其他多晶硅生產(chǎn)方法4

項(xiàng)目一氣體的制備與凈化6
任務(wù)一氣體的制備7
任務(wù)二氣體凈化19
【小結(jié)】28
【習(xí)題】29

項(xiàng)目二三氯氫硅的合成30
任務(wù)一液氯汽化31
任務(wù)二氯化氫的合成39
任務(wù)三三氯氫硅的合成46
【小結(jié)】66
【習(xí)題】66

項(xiàng)目三三氯氫硅精餾提純68
任務(wù)一精餾提純原理及相關(guān)計(jì)算68
任務(wù)二精餾提純設(shè)備95
任務(wù)三精餾提純工藝102
任務(wù)四精餾提純操作104
任務(wù)五設(shè)備、管道的檢修118
任務(wù)六故障處理121
【小結(jié)】128
【習(xí)題】128

項(xiàng)目四三氯氫硅氫還原制備高純硅130
任務(wù)一知識準(zhǔn)備130
任務(wù)二三氯氫硅氫還原工藝、核心設(shè)備結(jié)構(gòu)及操作136
任務(wù)三設(shè)備、管道保養(yǎng)與維護(hù)151
任務(wù)四還原工序常見故障判斷與處理155
任務(wù)五三氯氫硅氫還原工序產(chǎn)品質(zhì)量要求及控制157
【小結(jié)】166
【習(xí)題】166

項(xiàng)目五尾氣干法回收168
任務(wù)一還原尾氣干法回收知識準(zhǔn)備170
任務(wù)二識讀還原尾氣干法回收工藝流程173
任務(wù)三尾氣干法回收主要設(shè)備174
任務(wù)四設(shè)備準(zhǔn)備及安全檢查183
任務(wù)五尾氣干法回收原輔材料準(zhǔn)備185
任務(wù)六尾氣干法回收關(guān)鍵及核心設(shè)備操作187
任務(wù)七尾氣回收故障處理192
任務(wù)八設(shè)備、管道保養(yǎng)與維護(hù)193
【小結(jié)】197
【習(xí)題】197

項(xiàng)目六四氯化硅的綜合利用與處理199
任務(wù)一認(rèn)識四氯化硅200
任務(wù)二四氯化硅氫化回收202
任務(wù)三四氯化硅處理的其他技術(shù)211
【小結(jié)】214
【習(xí)題】214

項(xiàng)目七硅芯的制備與腐蝕216
任務(wù)一硅芯的制備217
任務(wù)二硅芯腐蝕222
【小結(jié)】224
【習(xí)題】224

項(xiàng)目八純水的制備225
任務(wù)一純水制備225
任務(wù)二超純水制備238
任務(wù)三純水測量242
【小結(jié)】248
【習(xí)題】248

參考文獻(xiàn)249