章 傳感器的基礎(chǔ)知識
1.1 傳感器的基本概念
1.2 傳感器的一般特性
1.2.1 傳感器的靜態(tài)特性
1.2.2 傳感器的動態(tài)特性
1.3 傳感器的標(biāo)定
1.3.1 傳感器的靜態(tài)標(biāo)定
1.3.2 傳感器的動態(tài)標(biāo)定
1.4 提高傳感器性能的方法
小結(jié)
習(xí)題
第2章 半導(dǎo)體傳感器敏感材料及典型工藝
2.1 半導(dǎo)體材料
2.1.1 硅材料特性
2.1.2 主要的硅化合物
2.2 電子陶瓷
2.2.1 電子陶瓷的特性
2.2.2 電子陶瓷的制備工藝
2.2.3 電子陶瓷的應(yīng)用
2.3 有機(jī)敏感材料
2.4 金屬敏感材料
2.5 常用加工技術(shù)
2.5.1 光刻工藝
2.5.2 腐蝕工藝
2.5.3 鍵合技術(shù)
2.5.4 微機(jī)械加工技術(shù)
2.5.5 LIGA技術(shù)
小結(jié)
習(xí)題
第3章 半導(dǎo)體氣敏元件與傳感器
3.1 金屬氧化物的半導(dǎo)體化
3.2 表面電阻控制型氣敏元件
3.2.1 燒結(jié)型SnO2氣敏元件的結(jié)構(gòu)
3.2.2 厚膜型和薄膜型SnO2氣敏元件的結(jié)構(gòu)
3.2.3 SnO2表面電阻控制型氣敏元件的工作原理
3.2.4 氣敏元件的特性參數(shù)
3.2.5 SnO2氣敏元件的主要特性
3.2.6 燒結(jié)型SnO2氣敏元件的制備T藝
3.3 氧化鋅（ZnO）表面電阻控制型氣敏元件
3.4 體電阻控制型氣敏元件
3.4.1 氧化鐵（Fe2O3）系傳感器
3.4.2 半導(dǎo)體氧敏元件
3.5 ZrO2濃差電池型氧傳感器
3.6 電壓控制型氣敏傳感器
3.6.1 肖特基二極管氣敏元件
3.6.2 氣敏開關(guān)元件
3.6.3 MOS二極管氣敏元件
3.7 催化金屬柵場效應(yīng)氣敏傳感器
3.7.1 MOSFET的r作原理
3.7.2 Pd-MOSFET氫敏元件