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　　《微電子機(jī)械微波通訊信號(hào)檢測(cè)集成系統(tǒng)》共分為12章，從第1章共性的設(shè)計(jì)理論和實(shí)現(xiàn)方法出發(fā)，對(duì)MEMS微波器件進(jìn)行了一系列設(shè)計(jì)、實(shí)驗(yàn)和系統(tǒng)級(jí)S參數(shù)模型的研究。這些器件包括：第2章的一分為二微波功分器，第3章的間接加熱熱電式功率傳感器，第4章的直接加熱熱電式功率傳感器，第5章的電容式功率傳感器，第6章的電容式和熱電式級(jí)聯(lián)功率傳感器，以及集成MEMS系統(tǒng)，第7章的在線電容耦合式微波功率檢測(cè)器，第8章的在線定向耦合式毫米波功率檢測(cè)器，第9章微波相位檢測(cè)器和第10章微波頻率檢測(cè)器，第11章分別對(duì)微波功率、相位和頻率檢測(cè)器進(jìn)行了封裝研究；最后，第12章進(jìn)行了總結(jié)和展望。由于集成的MEMS相位檢測(cè)器和集成的MEMS頻率檢測(cè)器研究都是基于MEMS微波功率傳感器技術(shù)，因此，《微電子機(jī)械微波通訊信號(hào)檢測(cè)集成系統(tǒng)》用較大篇幅來詮釋MEMS微波功率傳感器及其集成的微波功率檢測(cè)器的研究。
　　《微電子機(jī)械微波通訊信號(hào)檢測(cè)集成系統(tǒng)》所涵蓋的學(xué)術(shù)成果在本專業(yè)國(guó)際上的重要學(xué)術(shù)期刊，以及國(guó)際重要學(xué)術(shù)會(huì)議上已發(fā)表，同時(shí)，書中所提出的結(jié)構(gòu)新穎，創(chuàng)新性突出，已獲得中華人民共和國(guó)國(guó)家發(fā)明專利授權(quán)，應(yīng)用價(jià)值高�！段㈦娮訖C(jī)械微波通訊信號(hào)檢測(cè)集成系統(tǒng)》適合高校電子、通訊和儀器專業(yè)的研究生和本科生作為教材和參考書，同時(shí)，也可作為相關(guān)專業(yè)的科研人員和工程技術(shù)人員的參考書。

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　　在微波通訊中，功率、相位和頻率是用來表征微波信號(hào)的三大參數(shù)。例如，作為電子對(duì)抗、目標(biāo)探測(cè)和信息采集的關(guān)鍵信息裝備的雷達(dá)，，在微波通訊中占有重要的地位，在雷達(dá)整機(jī)中，微波信號(hào)的產(chǎn)生、發(fā)射、傳輸、接收和處理等各個(gè)環(huán)節(jié)，都必須進(jìn)行微波信號(hào)的檢測(cè)。相控陣?yán)走_(dá)的每一面陣中都有非常多的微波功率放大處理電路單元，每個(gè)單元都需要進(jìn)行微波功率的檢測(cè)，如何精確地進(jìn)行檢測(cè)一直是重要的課題；而隨著微波頻率的增加，信號(hào)的波長(zhǎng)與電路中各種元器件尺寸越來越接近，電磁波通過微波器件時(shí)，除了會(huì)發(fā)生衰減，造成功率的變化外，同時(shí)還發(fā)生相移，引起相位的變化，檢測(cè)并控制信號(hào)相位的變化有著非常重要的意義；同時(shí)，微波信號(hào)的頻率同樣已成為重要的檢測(cè)參數(shù)，頻率的標(biāo)準(zhǔn)及其計(jì)量方法具有最高的精度，其測(cè)量決定著其他相關(guān)參數(shù)的準(zhǔn)確度。
　　低直流功耗、高抗燒毀水平、高靈敏度、高線性度、大動(dòng)態(tài)范圍、易集成、小體積和低成本的微波通訊信號(hào)檢測(cè)集成系統(tǒng)已成為軍用和民用微波通訊技術(shù)發(fā)展的重要裝備之一，針對(duì)軍用和民用微波通訊裝備的以上需求，應(yīng)用RF MEMS（射頻微電子機(jī)械系統(tǒng)）技術(shù)，東南大學(xué)MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室RF MEMS課題組從2003年開始了微電子機(jī)械微波信號(hào)檢測(cè)集成系統(tǒng)的研究。相對(duì)應(yīng)微波信號(hào)的功率、相位和頻率的檢測(cè)，作為RF MEMS課題組負(fù)責(zé)人，我已經(jīng)主持完成了三個(gè)國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目：“在線式MEMS微波功率傳感器的設(shè)計(jì)理論和實(shí)現(xiàn)方法的研究”（批準(zhǔn)號(hào)：60676043，起止時(shí)間：2007年1月～2009年12月），“基于MEMS功率傳感技術(shù)的單片微波相位集成檢測(cè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)理論和實(shí)現(xiàn)方法”（批準(zhǔn)號(hào)：60976094，起止時(shí)間：2010年1月～2012年12月），“基于MEMS微波功率傳感器的無線接收式微波頻率檢測(cè)集成系統(tǒng)的設(shè)計(jì)理論和實(shí)現(xiàn)方法”（批準(zhǔn)號(hào)：61076108，起止時(shí)間：2011年1月～2013年12月）。另外，已經(jīng)主持完成了一項(xiàng)國(guó)家863計(jì)劃（國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃）項(xiàng)目：“在線式MEMS微波功率傳感器及其集成檢測(cè)系統(tǒng)研究（批準(zhǔn)號(hào)：2007AA042328，起止時(shí)間：2007年10月～2010年5月）。通過以上科研，基于GaAs MMIC兼容工藝，課題組研制了MEMS集成的在線式微波功率檢測(cè)器和MEMS集成的微波相位檢測(cè)器，以及MEMS集成的微波頻率檢測(cè)器，其創(chuàng)新性表現(xiàn)為：全是由無源器件集成，實(shí)現(xiàn)零直流功耗；采用MEMS電容式和熱電式兩種微波功率傳感器級(jí)聯(lián)結(jié)構(gòu)，不僅擴(kuò)展了測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍，而且提高了靈敏度和抗燒毀水平；同時(shí)，具有高線性度、易集成、小體積和低成本等MEMS的鮮明特點(diǎn)。
　　課題組深入地進(jìn)行了模擬、設(shè)計(jì)、制備、測(cè)試和封裝等工作，最終建立了一整套微電子機(jī)械微波通訊信號(hào)檢測(cè)集成系統(tǒng)的設(shè)計(jì)理論和實(shí)現(xiàn)方法，包括：①M(fèi)EMS熱電堆、MEMS固支梁和懸臂梁、功率分配器和功率合成器、耦合器和移相器等的微波集成設(shè)計(jì)，以及MEMS微波功率傳感器、相位和頻率檢測(cè)器的電-熱-電轉(zhuǎn)換模型和電-力-電轉(zhuǎn)換模型建立的設(shè)計(jì)理論研究；②應(yīng)用理論研究成果指導(dǎo)微波通訊信號(hào)檢測(cè)集成系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，與GaAs MMIC工藝兼容的MEMS工藝進(jìn)行的單片系統(tǒng)集成、測(cè)試和封裝；③實(shí)驗(yàn)結(jié)果驗(yàn)證微電子機(jī)械微波通訊信號(hào)檢測(cè)集成系統(tǒng)設(shè)計(jì)理論和實(shí)現(xiàn)方法的有效性。
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