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MEMS多晶圓旋轉(zhuǎn)機(jī)械——渦輪機(jī)，發(fā)電機(jī)和發(fā)動(dòng)機(jī) 
定 價(jià)：120 元
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《MEMS多晶圓旋轉(zhuǎn)機(jī)械：渦輪機(jī)、發(fā)電機(jī)和發(fā)動(dòng)機(jī)》作為PowerMEMS領(lǐng)域的一本里程碑式的著作，是由麻省理工學(xué)院牽頭、歷時(shí)13年的MEMS微發(fā)動(dòng)機(jī)項(xiàng)目研究成果的一個(gè)總結(jié)。該項(xiàng)目涉及了多個(gè)學(xué)科的理論與技術(shù)，涵蓋微制造、薄膜技術(shù)、材料科學(xué)、結(jié)構(gòu)學(xué)、燃燒與傳熱學(xué)、電機(jī)科學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域，除麻省理工學(xué)院之外還有佐治亞理工學(xué)院、克拉克亞特蘭大大學(xué)、馬里蘭大學(xué)帕克分校等機(jī)構(gòu)一百余名科研人員參與了該項(xiàng)目的研究。
PowerMEMS的*終目的是建立微型發(fā)電系統(tǒng)，以代替部分現(xiàn)有的常規(guī)化學(xué)電池系統(tǒng)。便攜式電子設(shè)備在民用及軍事領(lǐng)域的日益普及和發(fā)展，致使常規(guī)化學(xué)電池在能量密度、質(zhì)量、尺寸等方面成為這類設(shè)備的制約因素，實(shí)際應(yīng)用迫切需要一種體積和質(zhì)量更小的高能量密度電源系統(tǒng)。隨著無(wú)線無(wú)源傳感器網(wǎng)絡(luò)、微型機(jī)器人、微型無(wú)人機(jī)等裝置的不斷發(fā)展，同樣需要微型的高能動(dòng)力裝置或獨(dú)立微型電源來(lái)克服現(xiàn)有電池系統(tǒng)的體積重量較大、能量密度低的缺陷。MEMS技術(shù)在加工能力，特別是體硅加工與封裝工藝方面的日益進(jìn)步，使得利用MEMS技術(shù)制作微型動(dòng)力裝置成為可能，并由此形成了全新的PowerMEMS研究方向。雖然微發(fā)動(dòng)機(jī)項(xiàng)目研究仍然任重道遠(yuǎn)，但是MEMS多晶圓旋轉(zhuǎn)機(jī)械中對(duì)MEMS工藝，尤其是體硅工藝的研究極具深度與廣度，值得MEMS其它領(lǐng)域參考借鑒。
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