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《現(xiàn)代高純氣體：制取、分析與安全使用》從高純氣體與集成電路等的關(guān)系說明氣體純度的重要性。集成電路的制造包括成膜、刻蝕、摻雜和注入、平衡及清洗等，各流程無不需要各種高純氣體。高純氣體的制取是《現(xiàn)代高純氣體：制取、分析與安全使用》的核心�！冬F(xiàn)代高純氣體：制取、分析與安全使用》介紹國內(nèi)外最新文獻，包括：吸附、精餾、離子液體、

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