《微機電系統(tǒng)（MEMS）工藝基礎與應用》著重從基本理論和具體應用方面闡述MEMS工藝。主要介紹MEMS的概念、發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢及力學相關知識；重點闡述MEMS實現(xiàn)工藝，主要有刻蝕（包括各向同性和各向異性刻蝕的原理、實現(xiàn)的方法、以及刻蝕自停止技術和干法刻蝕），表面微加工工藝的基本原理及其常用材料，硅片鍵合技術的各種方法、工

《微特電機》系統(tǒng)地介紹了各種微特電機運行原理、性能特點和設計方法等內容。全書共分三篇：上篇介紹通用基礎理論，分別從電磁理論基礎、磁路分析與永磁磁路、交流繞組基礎、損耗與發(fā)熱、振動、噪聲與電磁兼容、電機常用分析方法等方面進行詳細講述；中篇介紹伺服與控制電機，從電氣伺服驅動系統(tǒng)的共性問題出發(fā)，主要講述了永磁直流電動機、永磁

《微機電系統(tǒng)設計和原型設計指南》的目的是通過一個使用頂級計算機輔助設計工具進行布局布線和建模的MEMS設計體驗指導學生們，以提供一個健壯的、標準多元晶圓制造工藝的設計。許多這樣的工藝都有成熟的設計規(guī)則可以分離設計和制造挑戰(zhàn)。如果遵循這些規(guī)則，學生們能夠獲得他們所設計的東西。然而標準工藝的使用對可以制造的設備具有一些局限

田文超、婁利飛編著的《微機電技術》系統(tǒng)地介紹了微機電技術基本內容、分析方法和主要應用，包括微機電系統(tǒng)概述、材料、工藝、典型器件、應用，RFMEMS及重構天線，MEMS力學問題等。書中包含大量圖、表，研究成果及相關結論，內容豐富。本書可供高年級本科生和研究生使用，也可以作相關工程技術人員及科技管理人員的參考書。

《普通高等教育“十二五”規(guī)劃教材普通高等教育“十一五”國家級規(guī)劃教材微特電機及系統(tǒng)（第二版）》為普通高等教育“十二五”規(guī)劃教材。全書共十一章，主要內容包括伺服電動機與伺服系統(tǒng)、測速發(fā)電機、步進電動機、自整角機、旋轉變壓器、永磁無刷直流電動機、單相交流串勵電動機、直線電動機、定子勵磁型雙凸極無刷電機驅動系統(tǒng)、超聲波電動機

《微納制造的基礎研究學術著作叢書：微機電系統(tǒng)（MEMS）制造技術》主要論述微機電系統(tǒng)（MEMS）制造技術，全書共9章。第1章闡述MEMS制造技術的定義、發(fā)展歷程和發(fā)展趨勢；第2章介紹MEMS制造的材料基礎；第3章闡述MEMS制造中的沾污及潔凈技術；第4章闡述包括光刻技術和軟光刻技術在內的圖形轉移技術；第5章闡述濕法腐蝕

《普通高等教育“十一五”規(guī)劃教材：控制電機（第4版）》是在原第三版教材的基礎上修訂而成的，書中主要闡述自動控制系統(tǒng)中常用的各種控制電機的基本結構、工作原理、工作特性和使用方法，其中包括交、直流伺服電動機，交、直流測速發(fā)電機，自整角機，旋轉變壓器，無刷直流電動機，步進電動機，開關磁阻電動機，交軸磁場放大機等，并簡單介紹了

《國外電子電氣經(jīng)典教材系列：微機電系統(tǒng)基礎（原書第2版）》第1版被翻譯成3種文字出版發(fā)行，并已被美國一些著名大學作為教科書，在MEMS領域享有較高聲譽。全書共分15章。第1、2章概括了基本傳感原理和制造方法；第3章討論了當今MEMS實踐中所必需的電學和機械工程基本知識；第4～9章分別描述了靜電、熱、壓阻、壓電、磁敏感與

《小型交流伺服電機控制電路設計》主要介紹小型交流伺服電機的基本特性、設計方法及應用實例。主要內容包括交流伺服電機的基本原理、構造與特征，電機驅動電路，電機控制，反饋控制電路的設計，使用單片機控制交流伺服電機，驅動交流伺服電機的三相PWM控制回路，基于軟件的伺服控制器的設計，基于匯編語言實現(xiàn)的伺服控制器高速化，交流伺服電

隨著電子技術的發(fā)展，控制電機在實際工程中的應用愈加廣泛，本書在汲取傳統(tǒng)的控制電機教材對原理講述清楚的基礎上增加了控制等內容。將新的控制技術與控制芯片相結合，以適應寬口徑復合型人才培養(yǎng)的需要。全書共分七章，第1章主要介紹直流伺服電動機、直流力矩電動機和無刷直流電動機的原理、結構、運行特性及控制；第2章主要介紹永磁同步伺服