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芯片制造技術(shù)與應(yīng)用(中國(guó)芯片制造系列) 本書是在已出版中國(guó)芯片制造系列之《芯片先進(jìn)封裝制造》《第三代半導(dǎo)體技術(shù)與應(yīng)用》基礎(chǔ)上的又一力作。在信息技術(shù)日益發(fā)展的當(dāng)下,芯片不僅是信息革命的核心驅(qū)動(dòng)力,更是國(guó)家重大戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)和全球技術(shù)、產(chǎn)業(yè)的制高點(diǎn)。隨著全球信息產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展,現(xiàn)在最為熱門的人工智能、超算、新能源、儲(chǔ)能等應(yīng)用場(chǎng)景,都離不開芯片制造技術(shù)的底層支撐。本書共十章,系統(tǒng)地介紹了芯片制造的核心過(guò)程和技術(shù),從集成電路概述到先進(jìn)封裝技術(shù),涵蓋半導(dǎo)體器件、硅材料制備、電介質(zhì)薄膜沉積、光刻、刻蝕、摻雜、金屬化以及化學(xué)機(jī)械研磨等關(guān)鍵技術(shù)環(huán)節(jié)。全書圖文并茂,內(nèi)容豐富,結(jié)構(gòu)清晰,可讀性強(qiáng)。
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