本書主要介紹微/納機(jī)電系統(tǒng)(MEMS/NEMS)諧振器動力學(xué)設(shè)計理論、分析方法及應(yīng)用技術(shù)。全書共9章，主要內(nèi)容包括：MEMS/NEMS技術(shù)基礎(chǔ)和MEMS/NEMS諧振器技術(shù)的發(fā)展歷程與發(fā)展趨勢；諧振器的工作原理、諧振結(jié)構(gòu)設(shè)計理論及分析技術(shù)；諧振器件制備涉及的材料、微納加工工藝及技術(shù)；諧振器中存在的豐富非線性現(xiàn)象和復(fù)雜動力學(xué)行為；微納尺度下的能量耗散理論、阻尼特性、作用機(jī)制及測試方法；諧振器中應(yīng)用的各種振動激勵與檢測原理及技術(shù)；通道式MEMS/NEMS諧振器檢測原理、動力學(xué)設(shè)計與分析技術(shù)；微納尺度下諧振器件的模態(tài)弱耦合作用機(jī)制、諧振器設(shè)計及傳感技術(shù)；諧振器中存在的典型失效模式與失效機(jī)理，以及多種可靠性評估方法和測試技術(shù)。

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