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集成微納系統(tǒng)的前沿技術(shù) 21世紀微電子學(xué)專業(yè)規(guī)劃教材 微電子學(xué)是一門發(fā)展十分迅猛的學(xué)科,同時也是與新興的納米技術(shù)等結(jié)合十分緊密的交叉學(xué)科,因此越來越具有在尺度上是跨微米向納米甚至是深亞納米發(fā)展、在功能上是向著電子、機械以及生物等系統(tǒng)功能的集成方向發(fā)展,同時這也是一門十分典型的實驗學(xué)科,需要結(jié)合大量的實驗動手才能夠掌握其精髓。所以我們的課程是《集成微納系統(tǒng)實驗班》,這本教材和課程的主旨一樣:主要針對微電子學(xué)的發(fā)展及時補充完善微電子學(xué)的范疇、同時結(jié)合實驗教程來增進學(xué)生的感性認識、培養(yǎng)學(xué)生的動手能力,彌補絕大多數(shù)同類教材只講授知識、不關(guān)注實驗?zāi)芰η也患皶r更新其發(fā)展、不配有相應(yīng)習(xí)題的不足,為學(xué)生和老師提供一本能夠全面準確掌握微電子基礎(chǔ)知識和能力的教科書。
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