激光熱敏光刻具有以下特點: 1) 寬波段光刻, 這類光刻膠的吸收光譜一般都覆蓋從近紅外到極紫外的整個光刻曝光的波段, 可以稱之為寬波段光刻膠; 2) 突破衍射極限的光刻, 光刻特征尺寸不再受制于光學衍射極限, 而是取決于熱致結構變化區(qū)域的尺寸; 3) 跨尺度光刻, 光刻中激光光斑的強度一般呈高斯分布, 光斑中心的溫度高, 沿四周擴散并逐漸降低, 通過調(diào)控熱擴散通道和曝光策略, 能實現(xiàn)跨尺度光刻; 4) 亞納米甚至原子級別的圖形分辨率, 熱敏光刻膠一般是無機非金屬薄膜, 其基本的組成單元是原子, 這也決定了熱敏光刻的圖形結構的分辨率和邊緣粗糙度能達到亞納米甚至原子級別; 5) 光刻工藝流程大為簡化, 熱敏光刻膠采用無機非金屬薄膜材料, 沒有交聯(lián)劑和光酸劑等中間物質, 光刻不需要固化、前烘和后烘等處理, 光刻過程也不會產(chǎn)生氣泡等負產(chǎn)物, 光刻流程只有涂膠、曝光、刻蝕、清洗, 因此光刻工藝大為簡化。