現(xiàn)代半導(dǎo)體技術(shù)和先進(jìn)材料研發(fā)的進(jìn)步，促進(jìn)薄膜材料和制備技術(shù)快速發(fā)展，要求薄膜制備技術(shù)和薄膜結(jié)構(gòu)有精細(xì)控制，需要了解表面與薄膜方面的基本物理知識(shí)。本書著重介紹表面與薄膜相關(guān)的基本概念、基本原理，幫助理解掌握薄膜技術(shù)的基本知識(shí)，為工作和科研打下良好基礎(chǔ)。本書內(nèi)容包括真空物理基礎(chǔ)、表面科學(xué)基礎(chǔ)、薄膜物理基礎(chǔ)、薄膜生長技術(shù)、薄膜結(jié)構(gòu)、表面和薄膜分析技術(shù)，以及幾種常見的薄膜材料。

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