《微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)及應(yīng)用探究》一書中講述的微機(jī)電系統(tǒng)涉及多學(xué)科交叉, 具有能夠在狹小空間內(nèi)進(jìn)行作業(yè)而又不擾亂工作環(huán)境的特點(diǎn), 有著廣泛的應(yīng)用前景。本書結(jié)合當(dāng)前微機(jī)電系統(tǒng)的科學(xué)研究, 對(duì)微機(jī)電系統(tǒng)原理和設(shè)計(jì)、微細(xì)加工技術(shù)、相關(guān)的檢測(cè)技術(shù)以及微機(jī)電系統(tǒng)的應(yīng)用等內(nèi)容進(jìn)行了介紹, 使讀者對(duì)微機(jī)電系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與制造有一個(gè)比較完整的了解, 為開展微機(jī)電系統(tǒng)的研究奠定必要的基礎(chǔ)。