硅通孔三維集成電路實現(xiàn)了晶圓在豎直方向的堆疊集成,具有集成度高、互連延遲小、速度快等優(yōu)點;因而得到了廣泛關(guān)注,本書系統(tǒng)化介紹了硅通孔三維集成電路測試中的各項關(guān)鍵技術(shù),為讀者進(jìn)行更深層次的三維集成電路設(shè)計、模擬、測試和可測性設(shè)計打下良好的基礎(chǔ),也為三維集成電路的設(shè)計、制造、測試和應(yīng)用之間建立一個相互交流的平臺,
本書主要內(nèi)容包括硅通孔三維集成電路的概念、基本測試方法、硅通孔故障機(jī)理及建模、綁定前硅通孔測試、綁定后硅通孔測試、三維集成電路可測性設(shè)計和測試結(jié)構(gòu)、測試調(diào)度策略等。
本書既可作為高等院校高年級本科生和研究生的專業(yè)課教材,也可作為從事集成電路設(shè)計、制造、測試、應(yīng)用EDA和 ATE專業(yè)人員的參考用書。
目 錄
第1章 緒論
1.1 三維集成電路的基本概念
1.2 三維集成電路的測試
1.3 本章小結(jié)
第 2章 硅通孔三維集成電路測試基本概念
2.1 集成電路測試基礎(chǔ)
2.2 可測試性設(shè)計
2.3 三維集成電路測試的特殊性
2.4 硅通孔三維集成電路測試概述
2.5 硅通孔三維集成電路測試中面臨的挑戰(zhàn)
2.6 本章小結(jié)
第3章 硅通孔故障建模
3.1 概述
3.2 基于有限元分析的硅通孔電參數(shù)提取
3.3 硅通孔的失效機(jī)理與故障建模
3.4 本章小結(jié)
第 4章 綁定前硅通孔的測試方法
4.1概述
4.2 基于IEEE1149.1的綁定前硅通孔的探針測試方法
4.3 基于開關(guān)電容的綁定前硅通孔的片上測試方法
4.4 本章小結(jié)
第 5章 綁定后硅通孔的測試與故障診斷方法
5.1 概述
5.2 測試機(jī)理
5.3 故障診斷方法
5.4 測試結(jié)構(gòu)設(shè)計
5.5 仿真結(jié)果與分析
5.6 半實物仿真實驗
5.7 故障檢測實驗
5.8 本章小結(jié)
第6章 三維集成電路測試結(jié)構(gòu)設(shè)計
6.1 三維集成電路測試結(jié)構(gòu)概述
6.2 IEEE國際標(biāo)準(zhǔn)
6.3 測試封裝設(shè)計
6.4 實驗仿真
6.5 本章小結(jié)
第7章 三維集成電路測試調(diào)度方法
7.1 概述
7.2 含混合粒度三維IP 核的集成電路測試調(diào)度
7.3 三維集成電路測試調(diào)度方法
7.4 實驗與結(jié)果分析
7.5 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)