本書涵蓋了表面微觀形貌測量的主要設計理論, 對微觀形貌的光學測量方法--相移干涉顯微測量技術, 展開了全面、系統(tǒng)的理論與實驗研究論述。針對相移干涉算法, 即相位提取算法和相位去包裹算法的理論進行了系統(tǒng)的闡述。在干涉顯微鏡的基礎上, 應用新提出和發(fā)展的算法編制的軟件, 進行了被測物體的相位計算以及截斷位相的整體恢復, 進一步提高了微觀表面形貌的測量精度和測量可靠性、提高了測量系統(tǒng)的整體性能指標。對測量過程中出現(xiàn)的相位截斷現(xiàn)象, 應用傳統(tǒng)相位去包裹法解決了原理包裹問題。應用算法解決了噪聲包裹導致的相位突跳, 恢復了物體表面形貌的連續(xù)性和真實性, 并對算法進行了計算機模擬驗證, 證明了它們對現(xiàn)實物體處理的有效性。建立了微分相襯干涉顯微測量系統(tǒng); 應用測試軟件、多個算法軟件及多組數(shù)據(jù)處理軟件, 分析并解決了微觀表面形貌測量中存在的一些技術難題; 對測量系統(tǒng)進行了詳細的誤差分析。本書對微觀形貌測量的知識點進行了精心編排和必要的精簡取舍, 突出特色, 助力人們掌握相關的形貌測量方法, 并能用于解決測控技術與儀器及光學工程研制方面的復雜過程問題。