本書討論的主題是微機電系統(tǒng)（MEMS）這一前沿的交叉學(xué)科。作者通過對MEMS技術(shù)的主要方面：結(jié)構(gòu)、材料、工藝、設(shè)計、測量進行系統(tǒng)論述，并隨之以對MEMS典型應(yīng)用的分類介紹，為讀者勾勒出當(dāng)前微機電系統(tǒng)的發(fā)展全貌。作為對主體內(nèi)容的補充和延伸，納機電系統(tǒng)和石墨烯在本書的結(jié)尾部分被予以專門的討論。為MEMS專業(yè)課程提供適用的本科和研究生教材是本書的出發(fā)點，為達此目的，本書在內(nèi)容安排上注意做到基礎(chǔ)理論知識和具體技術(shù)細節(jié)并重，力圖體現(xiàn)作者對MEMS專業(yè)方向?qū)W生的培養(yǎng)理念和教學(xué)思路。